Кошелев, К. Н. Работы по созданию источников коротковолнового излучения для нового поколения литографии / К. Н. Кошелев, В. Е. Банин, Н. Н. Салащенко // Успехи физических наук. - 2007. - Т. 177, N 7. - С. . 777-780. - Библиогр.: с. 780 (6 назв. ). - ил.: 6 рис.
Рубрики: Физика--Оптика Кл.слова (ненормированные): сессии -- литография -- излучения -- коротковолновые излучения -- источники излучения -- плазма -- литографические аппараты Доп.точки доступа: Банин, В. Е.; Салащенко, Н. Н. |