Web ИРБИС

Новый материал для "умных" микросенсоров // Природа. - 2006. - N 3. - С. . 82

ББК 32.85
Рубрики: Радиоэлектроника--Электроника
Кл.слова (ненормированные):
поликристаллический SiGe -- изготовление микросенсоров -- кинематические сенсоры -- гироскопы -- емкостные акселерометры -- микродатчики

Новый материал для "умных" микросенсоров // Природа. - 2006. - N 3. - С. . 82

request_decrypt("<.>K=поликристаллический SiGe<.>","");